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TLC 시리즈——양극층 이온 소스 코팅 장비

TLC 시리즈 양극층 이온 소스 코팅 장비는 첨단 마그네트론 스퍼터링(MS) 및 양극층 이온 소스 기술을 통합하여 고품질 박막 증착을 위한 향상된 성능을 제공합니다. 이 양극층 이온 소스는 간단한 구조, 높은 이온 빔 전류 및 높은 안정성을 갖춘 냉음극 가스 이온 소스입니다. 이온 빔 보조 증착, 표면 세척 및 박막 치밀화에 널리 사용됩니다.

이 장비는 증착 공정 중 이온 에너지를 정밀하게 제어하여 코팅 접착력, 균일성 및 밀도를 크게 향상시킵니다. 주요 응용 분야는 내부 응력이 낮고 경도가 높으며 내마모성이 뛰어나고 마찰이 적은 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 코팅 증착입니다.

이러한 특성 덕분에 DLC 코팅은 자동차 부품, 정밀 공구, 의료 기기 및 항공우주 부품에 이상적입니다. TLC 시리즈는 다양한 다른 소재도 지원하여 여러 산업 분야에 유연한 솔루션을 제공합니다. 효율적인 공정 제어와 환경 친화성을 갖춘 TLC 시리즈는 고성능 표면 엔지니어링을 위한 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다.

    제품 장점

    마그네트론 스퍼터링 및 양극층 이온 소스

    수소 함유 DLC 코팅

    높은 경도 및 내마모성

    증착 온도는 100°C까지 낮아질 수 있습니다.

    제품 특징

    • 제품 특징
      양극층 이온 공급원은 탄소를 함유한 가스를 이온화하고 aC:H 코팅을 증착하는 데 사용됩니다.
    • 제품 특징
      DLC, CrN, WC, W-DLC 및 기타 코팅을 증착할 수 있습니다.
    • 제품 특징
      증착 온도는 낮으며, 최저 온도는 100°C이고, 기판은 넓습니다.
    • 제품 특징
      표면이 매끄러워 제품의 거칠기를 변화시키지 않습니다.
    • 제품 특징
      예쁜꼬마선충은 경도가 높고 마찰 계수가 낮다
    티씨(1)

    제품 매개변수

    속성 티라코타800
    코팅 기술 마그네트론 스퍼터링 및 양극층 이온 소스
    코팅 종류 Cr/WCC/DLC
    에칭 습식 측면 열 필라멘트 에칭
    MS 음극(개수) 2
    양극층 이온 공급원(개수) 2
    장비 크기(mm) 길이*너비*높이: 3000*2200*2600
    부피(m³) 0.7
    유효 코팅 면적(mm) Ф650*400
    최대 작동 온도(℃) 350℃
    전력(kW) 100
    수용 능력(나무의 수) 주문제작
    최대 적재 중량(KG) 500
    스핀들 직경(mm) 최대 Ф250
    처리 시간(시간) DLC: 15~20
    티씨(3)
    속성 티클라디1500
    코팅 기술 마그네트론 스퍼터링 및 양극층 이온 소스
    코팅 종류 Cr/WCC/DLC
    에칭 습식 측면 열 필라멘트 에칭
    MS 음극(개수) 2
    양극층 이온 공급원(개수) 2
    장비 크기(mm) 길이*너비*높이: 3400*2750*2600
    부피(m³) 1.5
    유효 코팅 면적(mm) Ф940*900
    최대 작동 온도(℃) 350℃
    전력(kW) 120
    수용 능력(나무의 수) 주문제작
    최대 적재 중량(KG) 1000
    스핀들 직경(mm) 최대 Ф300
    처리 시간(시간) DLC: 15~20
    티씨(2)

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