TLC 시리즈——양극층 이온 소스 코팅기

TLC 시리즈 양극층 이온 소스 코팅 장비는 첨단 마그네트론 스퍼터링(MS)과 양극층 이온 소스 기술을 통합하여 고품질 박막 증착을 위한 향상된 성능을 제공합니다. 양극층 이온 소스는 구조가 간단하고 이온 빔 전류가 크며 안정성이 높은 냉음극 가스 이온 소스입니다. 이온 빔 보조 증착, 표면 세정 및 박막 고밀도화에 널리 사용됩니다.

이 장비는 증착 공정 중 이온 에너지를 정밀하게 제어하여 코팅 접착력, 균일성 및 치밀성을 크게 향상시킵니다. 주요 응용 분야는 낮은 내부 응력, 높은 경도, 우수한 내마모성 및 낮은 마찰력으로 알려진 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 코팅 증착입니다.

이러한 특성 덕분에 DLC 코팅은 자동차 부품, 정밀 공구, 의료 기기 및 항공우주 부품에 이상적입니다. TLC 시리즈는 다양한 소재에도 적용 가능하여 다양한 산업 분야에 유연한 솔루션을 제공합니다. 효율적인 공정 제어와 친환경성을 갖춘 TLC 시리즈는 고성능 표면 엔지니어링을 위한 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다.