AC
HD500-HD 시리즈의 새로운 복합 이온 코팅 장비
독특한 측면 에칭
√ 측면 에칭의 뛰어난 균일성
√ 우수한 에칭 오버행 특성 및 편리한 유지관리
복합 HiPIMS 마그네트론 스퍼터링
√ DC + HiPIMS MS 소스를 탑재하여 Nb, BC, W, V 등의 내화성 금속 증착에 필요한 에너지 요구 사항을 충족하면서도 높은 증착 속도를 보장하며, 거의 모든 소재의 증착이 가능합니다.
플라즈마 최적화 다중 아크 소스
√ 6개의 원형 다중 아크 타겟 소스 3개 그룹이 장착되어 있어 은폐형 아크 개시 메커니즘이 안정적이고 유지 관리가 쉽습니다.
√ 다원소, 다층 박막 증착이 용이합니다.
√ 최적화된 플라즈마 멀티아크 소스는 더욱 매끄러운 박막 표면을 보장합니다.
√ 목표 재료 활용률이 매우 높습니다.
다중 증착 기술 플랫폼
√ DC MS + HiPIMS MS + 다중 아크 이온 플레이팅을 포함한 다양한 박막 증착 기술을 동일 플랫폼에서 구현하고, 동일 배치에서 단일, 복합 및 혼합 코팅 방법을 구현할 수 있습니다.
| 이름 | 매개변수 |
| 코팅 기술 | 새로운 복합 코팅 기술 |
| 에칭 | 측면 이온 소스(핫 필라멘트) |
| 다중 아크 소스(개수) | 6 |
| 마그네트론 음극(개수) | 1 |
| 장비 크기(mm) | 길이 3400*너비 1600*높이 2600 |
| 챔버 용량(m³) | 0.7 |
| 유효 코팅 면적(mm) | Ф410*400 |
| 최대 작동 온도(℃) | 700 |
| 적재 용량(나무 수) | 5 |
| 블레이드 로딩(APMT1135) | 6000개 |
| 로드 블레이드 적재 용량(D4*50L) | 1800개 |
| 최대 적재 중량(KG) | 300 |
| 샤프트 직경 | F130 |
| 처리 시간 | AlTiN：6~8시간 |
