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진공 코팅 장비의 작동 원리는 무엇입니까?
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A: 물리 기상 증착(PVD) 또는 화학 기상 증착(CVD) 기술을 활용하여 진공 챔버에서 대상 물질을 증발시키고 기판 위에 균일하게 증착시켜 나노 크기의 기능성 코팅을 형성합니다.
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장비에는 어떤 정기적인 유지관리가 필요합니까?
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A: 1) 50시간 작동 후 진공 챔버 잔여물을 청소하십시오. 2) 매월 기계식 펌프 오일 레벨과 씰 무결성을 점검하십시오. 3) 분기별로 필름 두께 모니터링 시스템을 교정하십시오. 최적의 성능을 위해서는 정품 소모품을 사용하는 것이 좋습니다.
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이 장비로 어떤 재료를 코팅할 수 있나요?
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A: 금속(Al/Ti), 세라믹(Si3N4), 폴리머 등과 호환됩니다. 최대 기판 크기: Φ300mm×500mm. 불규칙한 형상의 가공물에 대한 코팅을 지원합니다.
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A: 표준 모델은 정격 출력 15kW에 스마트 에너지 절약 모드를 적용하여 대기 전력 소비를 40%까지 줄였습니다. 최대 부하 운전 비용은 시간당 약 9엔(산업용 kWh당 0.6엔 기준)입니다.
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답변: 1) HMI를 통해 최근 10개 배치 프로세스 곡선을 비교합니다. 2) 진공 누출 감지기를 사용하여 챔버 밀봉을 확인합니다. 3) 원격 진단을 위해 기술 지원팀에 문의합니다(24시간 연중무휴).
HD500
AC
